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在單晶硅拉制過程中,氧化鋁坩堝以其卓越的高熔點、耐化學腐蝕性和熱穩定性,成為不可或缺的關鍵容器材料。然而,雜質污染控制與長晶效率提升兩大問題,成為制約其應用的關鍵。
首先,雜質污染控制是氧化鋁坩堝應用的一大挑戰。原料中的金屬雜質如Cu、Fe等,可能通過接觸引入單晶硅中。此外,高溫下氧化鋁坩堝可能釋放微量氧化物,污染熔體。針對這一問題,我們采取了嚴格措施:選用高純度氧化鋁原料制備坩堝,降低雜質本底;在坩堝表面涂覆保護涂層(如Y?O?涂層),減少熔體與坩堝的直接接觸;優化拉晶工藝,采用高純氬氣保護,減少氧、碳等雜質引入;控制爐內氣氛為弱氧化性,避免坩堝過度氧化導致雜質釋放。
其次,長晶效率提升同樣關鍵。通過改進坩堝形狀與尺寸,優化熔體對流,促進熱量均勻傳遞,減少晶體生長缺陷。例如,采用大尺寸坩堝配合高氬氣流量,加速SiO揮發,降低氧雜質含量。同時,引入導流罩技術,精確控制氬氣流動路徑,減少氣塵雜質對晶體生長面的污染,顯著提高成晶率。
此外,優化坩堝預熱與冷卻工藝也至關重要。避免溫度驟變導致的熱應力,延長坩堝使用壽命的同時進一步提升生產效率。
總之,氧化鋁坩堝在單晶硅拉制過程中的應用面臨著兩大挑戰:雜質污染控制與長晶效率提升。通過嚴格的質量控制、工藝優化和技術創新,我們有望解決這些問題,推動單晶硅產業的持續發展?!緲撕?ai提示詞2】